1. TEM樣品制備前處理，樣品定位及護層制備等。
2. 使用FIB制備TEM樣品，各種膜層及器件結(jié)構(gòu)的截面及平面TEM制備以及失效定位TEM樣品制備。
3. TEM制備技術(shù)開發(fā)，針對新結(jié)構(gòu)，材料及新器件TEM制備技術(shù)的開發(fā)。
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2. 使用FIB制備TEM樣品，各種膜層及器件結(jié)構(gòu)的截面及平面TEM制備以及失效定位TEM樣品制備。
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- 公司性質(zhì)：0
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- 聯(lián)系人：柳翠欣
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